最近跑了趟国内某存储器大厂的二期产线。说实话，感受就一个字——卷。不是卷产能，是卷设备。到处是某某科、某某微的logo，以前可全是清一色的Applied Materials和TEL。

domestic semiconductor etching machine on production line debug

变化大吗？大。但够不够？实话实说，还差得远。尤其在光刻环节，那台ASML的Twinscan NXT:1980Di像个巨兽一样蹲在最干净的黄光区，鹤立鸡群。国内没有替代品，一台都没有。这让搞设备采购的老刘很头疼：“每次去瓦森纳协定谈判更新，我们心都悬着。”

缺的不是芯，是造芯的“母机”

设备自主率是个老生常谈的话题。但如果你去产线走一圈，感受会更直观。光刻机0%国产，这个就不说了，大家都知道。刻蚀机进步明显，中微的5nm刻蚀机已经进了台积电，北方华创的也能做到14nm。可就算这样，整体国产化率才多少？SEMI的数据，2023年中国大陆半导体设备国产化率大概在18%左右。不低吗？呸，低得可怜。

其实最可怕的不是数字，是关键零部件。就拿最不起眼的密封圈、阀门、传感器来说，核心的还得靠Swagelok、Pfeiffer Vacuum。这些小东西，平时不显山露水，一旦断供，整个机台就趴窝。去年有家国产设备厂，因为一个小小的射频电源交期延迟了三个月，整机交付全黄了。负责人跟我吐槽：“就像攒了台顶配电脑，结果电源线没到！”

光刻机：绕不过去的坎

一谈半导体设备，永远绕不开光刻机。上海微电子的90nm光刻机在2018年就交付了，但之后呢？28nm的DUV光刻机一直在传闻中，从未真正量产。更别说EUV了。有次饭局上，一位参与研发的工程师多喝了两杯，冒出一句：“别说EUV，就是干式ArF的193nm光源，咱们的寿命和稳定性还赶不上Cymer十年前的水平。” 这话够扎心吧？

semiconductor wafer transfer vacuum robot hand detail

不过话说回来，光源难，双工件台更难。ASML的磁悬浮工件台，运动控制精度到了纳米级，每秒扫描速度接近1米，国内现在只能做到亚微米级，差距肉眼可见。但！不是没希望。华为投资了某家做纳米精度运动平台的公司，据说已经跑通了测试。坊间传闻，说不定今年就能看到样机。真假难辨。

这里就引出一个大家特别关心的问题。

问：国产光刻机到底什么时候能出来？
答：说实话，短时间别抱太大希望。目前最先进的干式ArF光刻机也只是在验证阶段，离量产还差好几年。EUV就更别想了，光源、透镜、真空系统……几乎每个子系统都是世界难题。但如果我们放低预期，28nm浸没式DUV还是有希望的，五年？也许。

问：那现在国产设备最靠谱的是哪类？
答：刻蚀和薄膜沉积，尤其是中微的5nm刻蚀机已经进台积电产线了。但注意，不是所有环节。清洗设备、检测设备也在追，比如盛美的清洗机，华峰测控的ATE。还有CMP抛光，华海清科在长江存储干得不错。不过，这些领域的国产化率也就在20%左右，还有很长的路。

卷向先进封装

卷向先进封装

既然前道工艺被人卡着脖子，国内不少设备厂开始卷先进封装。这招挺聪明。先进封装对线宽要求没那么高，设备相对容易做，而且市场增速快。你看最近很火的HBM（高带宽内存），离不开TSV（硅通孔）和混合键合。国内拓荆科技的混合键合设备，据说已经供货给一些封装大厂了。芯源微的涂胶显影设备，在先进封装市场也吃到了红利。

但竞争也惨烈。一家做划片机的老总苦笑：“现在客户报价，直接砍一半，还问你送不送耗材。” 哎，这就是国产设备的现实——要么不做，要做就卷到死。

不过也有让人惊喜的地方。上周在展会上看到一家苏州的初创公司，做的是晶圆级光学检测，算法和光路设计都很牛，创始人从KLA出来，团队才二十多人，已经拿到了几家封测厂的订单。这种小而美的团队，往往能搞出大动静。

原材料：另一个隐形战场

原材料：另一个隐形战场

聊设备，不能漏了材料。光刻胶、高纯化学试剂、特种气体、CMP抛光液……哪一样不是国外寡头垄断？日本JSR、信越化学，美国陶氏，德国巴斯夫，个个都是拦路虎。但这两年，国内也冒出来一批敢啃硬骨头的企业。比如南大光电的ArF光刻胶，晶瑞股份的电子级硫酸，都进了客户验证。说说容易，验证周期动辄两年，还得祈祷国外不要突然降价。巨头们一降价，采购方立马变脸，抛弃国产那点可怜的份额。这事儿，发生过不止一次了。

所以，每次听到“某某材料打破垄断”的新闻，我的第一反应不是欢呼，而是担心——是不是又在拿补贴讲故事？毕竟，半导体这个行当，骗补的比实干的多。当然，我宁愿相信这次是真的。

最后说个有意思的观察。在产线上，我发现很多年轻的操作工程师，对国产设备的接受度比老工程师高。他们觉得国产机台界面更友好，售后服务响应快，有什么bug也愿意一起调试改进。这或许是个好兆头。设备最终是人用的，有人就有机会。

说实话，有时候看到一些媒体吹“打破垄断”、“完全自主”，我就想笑。差得远呢。但该乐观吗？应该。毕竟十年前，谁知道我们能有今天？只是别停下。